DRIE
سیستم زدایش فعال یونی و زدایش عمیق سیلیکان زدایش غیرهمسانگرد به صورت خشک در محیط پلاسما برای ایجاد ساختارهای مطلوب در سیستم های الکترومکانیکی مورد نیاز آزمایشگاه هایی است که در زمینه ی MEMS فعالیت می کنند. بدین منظور شرکت حسگرسازان طراحی این سیستم را به صورت کامل انجام داده و نمونه ای از آن […]
Read More